装置・材料 フォトレジストとは?役割・ポジ型とネガ型・i線・KrF・ArFの違いを初心者向けに解説
半導体では、シリコンウエハーの上に非常に細かな回路を作ります。しかし、シリコンや金属膜をいきなり回路の形に削るわけではありません。まず、「どこを加工して、どこを残すのか」を決める必要があります。そのために使われる材料が、フォトレジストです。...
装置・材料
業界・企業
業界・企業
最新技術
最新技術
最新技術