2026-09

最新技術

CoWoSとは?GPUとHBMをつなぐ仕組み・S/R/Lの違いを初心者向けに解説

AI半導体のニュースでは、GPUやHBMと並んで「CoWoS」という言葉が登場します。GPUは計算をする半導体、HBMはデータを記憶するメモリです。では、CoWoSは何をする技術なのでしょうか。CoWoSは、複数の半導体チップを高密度につな...
装置・材料

超純水とは?純水との違い・半導体で使う理由・製造と水質管理の仕組み

半導体工場では、ウェーハを加工する途中で何度も水を使います。ただし、使うのは水道水ではなく、不純物を極めて少なくした「超純水」です。「きれいな水なら、純水でもよいのでは?」「18.2 MΩ・cmという数字は何を意味する?」「フィルターを通せ...
装置・材料

半導体洗浄装置とは?枚葉式・バッチ式の違いと洗浄・乾燥の仕組みを解説

半導体工場では、回路を作る途中で何度もウェーハを洗浄します。取り除くのは、目に見える汚れだけではありません。微小な粒子、金属汚染、有機物、加工後の残留物などが、次の工程や製品の特性に影響するためです。こうした汚染を除去し、必要な膜や回路を傷...
装置・材料

半導体のコータ・デベロッパとは?レジスト塗布・現像装置の仕組みを初心者向けに解説

半導体のリソグラフィでは、シリコンウエハーの上にフォトレジストを塗り、露光・現像によって微細なパターンを作ります。このとき、レジストを塗る加熱する冷却する現像するといった処理を行う装置が、コータ・デベロッパです。コータ・デベロッパは単に、「...